零件進爐滲碳前加以預熱；提高滲碳零件表面活性，加快鋼件表面吸附碳原子速度是零件滲碳前預處理的兩個目的。在1990年第一汽車制造廠試驗采用齒輪500℃預氧化工藝然后滲碳，滲碳層不均勻的溫度得以解決，汽車行業目前廣泛應用這個工藝。在實際生產中也有采用空氣介質中450℃×1h加熱氧化預處理的工藝。采用空氣介質中500℃×1h加熱氧化預處理，工件表面獲得一層致密結構的氧化薄膜（3Fe+2O2—Fe3 O4），其在隨后的滲碳初期被滲碳氣氛還原，生成潔凈的初生態的鐵(Fe3O4+2[C]—3Fe+2CO2)，呈現出很高的化學活性，產生大量能夠吸附滲劑的活性位置。所有進行滲碳處理的爐子（包括有罐、無罐爐膛），新投入使用時必須先行對爐子本體進行滲碳預處理，使爐膛表面以及爐內的其他金屬或非金屬構件吸收足夠的碳元素。預滲的工藝方法就是按照工件的正常滲碳工藝實施。同時，工件表面輕度氧化，可適當提高工件表面粗糙度，形成微孔，人為增加表面缺陷，還可提供位錯露頭、臺階和各種表面缺陷，形成具有較低“勢壘”的活性中心，使滲劑的被吸附概率和吸附量大大增加，從而加快活性碳原子滲入過程和表面碳濃度梯度的形成，有效地提高零件的吸碳活性，適應新型滲碳工藝要求，獲得合格的滲碳性能。對于周期爐中的爐罐一般預滲10～15h，料筐、掛具等一般預滲2～3h。對于連續爐的爐罐（有罐或無罐）預滲時間以觀察到在網帶等運輸部件上有炭黑出現為止。大型連續爐的預滲時間比較長。本文參考《熱處理工藝問答》一書。